Klimawirksame Stoffe nehmen Einfluss auf die Erderwärmung und tragen zum Klimawandel bei. Das stärkste bekannte Treibhausgas ist Schwefelhexafluorid (SF₆), dessen Treibhauspotenzial die Klimawirksamkeit von Kohlenstoffdioxid (CO₂) um das 23 500-Fache übertrifft. Wie das Statistische Bundesamt (Destatis) mitteilt, haben deutsche Unternehmen im Jahr 2022 insgesamt 732 Tonnen dieses Stoffs bezogen, das waren 10,8 Tonnen weniger als im Jahr 2021 (-1,5 %). Die bezogene Menge SF₆ entspricht 17,2 Millionen Tonnen CO₂-Äquivalenten (Global Warming Potential, GWP).

Höchster Anteil von SF₆ in der Elektroindustrie und im Apparatebau eingesetzt

SF₆ wurde im Jahr 2022 mit einer abgegebenen Menge von 460,2 Tonnen (62,8 %) hauptsächlich in der Elektroindustrie und im Apparatebau eingesetzt. Weitere bedeutende Abnehmergruppen sind mit 127,5 Tonnen (17,4 %) Zwischenhändler und mit 75,1 Tonnen (10,3 %) die Halbleiterindustrie. Insbesondere an die Halbleiterindustrie wurde deutlich mehr SF₆ abgegeben als im Vorjahr (+58,6 %). 

Abgabe von Stickstofftrifluorid an Halbleiterindustrie stark gestiegen

Auch das Treibhausgas Stickstofftrifluorid (NF₃) hat einen sehr hohen GWP-Wert von 16 100 und baut sich extrem langsam in der Atmosphäre ab. Im Jahr 2022 wurden insgesamt etwa 169 Tonnen NF₃ an die deutsche Wirtschaft abgegeben, das entspricht rund 2,7 Millionen Tonnen CO₂-Äquivalenten. Gegenüber 2021 lag der Zuwachs bei 166,5 %. Dieser Anstieg ist vor allem durch neue Gasehändler am Markt zu erklären, die für das Jahr 2022 erstmals Daten zur Abgabe von NF₃ geliefert haben. Ohne die Daten der neuen Gasehändler läge der Zuwachs bei 45,6 %. 

Die Steigerung der Abgabemengen im Bereich der Halbleiter fiel mit 103,3 Tonnen (+187 %) besonders hoch aus. NF₃ wird in der Halbleiterindustrie zum Ätzen oder Reinigen der Beschichtungskammern eingesetzt, etwa bei der Herstellung von Flachbildschirmen. 

Freigesetzte SF₆-Menge entsprach 0,4 % aller Treibhausgasemissionen im Jahr 2021

Die an die Industrie abgegebene Menge an SF₆ entspricht nicht der in die Atmosphäre freigesetzten Emissionsmenge. Das Gas wird zu großen Teilen in­nerhalb geschlossener Systeme verwendet und damit (vorerst) nicht freigesetzt. Direkt freigesetzt wurden im Jahr 2021 nach Berechnungen des Umweltbundesamtes zur nationalen Treibhausgas-Berichterstattung 2,7 Millionen CO₂-Äquivalente SF₆. Dies entsprach einem Anteil von 0,4 % an den gesamten Treibhaus­gasemissionen in Deutschland in Höhe von rund 760,4 Millionen Tonnen CO₂-Äquivalenten. NF₃ hingegen wurde nach dieser Berechnung in sehr geringem Maß tatsächlich freigesetzt, nämlich in einer Menge von 0,01 Millionen Tonnen CO₂-Äquivalenten. 

(c) Statistisches Bundesamt, 21.06.23